"本书是高等职业教育智能制造专业群“德技并修工学结合”系列教材之一。本书是为高等职业院校学生学习“激光加工基本技能训练”“金工基本技能训练”“工程实践”等课程编写的实训教材。本书是由多位有着丰富实践经验的教师在总结多年激光加工及相关课程教学经验的基础上共同编写完成的。书中深入浅出地对激光加工的知识和技能做了详细的介绍，

本书共分6篇12章，系统介绍了微加工技术工艺原理和实验教程。本书内容理论和实验相结合，涵盖了微加工技术工艺中的光刻、刻蚀、薄膜沉积、氧化和掺杂等工艺。理论部分着重对各种工艺技术的原理进行阐述。实验部分列举了光刻、刻蚀、薄膜制备和掺杂四大类工艺的单项实验，器件制造工艺实验和器件特性测量实验。本书对初步涉足这一领域的高等院

本书论述了微细电火花加工结合超声振动辅助后产生的相关技术及其应用策略，包括微细电火花铣削、超声振动辅助电火花微细孔加工、超声电火花加工温度场仿真、磁场作用下超声电火花加工表面特性、超声混粉电火花热力学仿真等。

根据《关于深化现代职业教育体系建设改革的意见》《职业院校教材管理办法》等文件精神，参考电加工操作等职业资格标准，结合编者多年教学一线经验，通过校企合作编写本书。本书通过项目引领、任务驱动，全面介绍了电火花成形加工技术、电火花线切割加工技术、激光切割(雕刻)加工技术、激光内雕加工技术、水切割加工技术、电化学加工技术。全书

本书介绍了机械加工中广义的微细加工技术,以及狭义的微细加工技术在集成电路及硅太阳能电池制造领域的应用，使读者能够准确地理解和掌握微细加工技术的基础知识和常用微细加工的方法、基本原理及应用。全书共6章，包括绪论、微细切削加工技术、微细特种加工技术、硅材料的制备及加工、集成电路制造技术和硅太阳能电池制造。 本书采用双色印刷

本书是全国中等职业学校数控加工类专业理实一体化教材／全国技工院校数控加工类专业理实一体化教材(中级技能层级)，供中等职业学校、技工院校数控加工类相关专业师生选用。本书采用任务驱动型编写模式，以能力培养为主线，以典型学习任务为载体，将知识和技能进行有机的整合，构建理实一体化教学单元，编写理念先进。本书主要内容包括：线切割

本书是全国中等职业学校数控加工类专业理实一体化教材／全国技工院校数控加工类专业理实一体化教材(中级技能层级)《数控电加工技术(第二版)》的配套学生指导用书，供中等职业学校、技工院校数控加工类相关专业师生选用。本书内容按照教材章节顺序进行编排，包括学习指导和巩固练习题两部分。学习指导通过引导问题引导学生课上学习；巩固练习

本书以项目任务引领的方式，分为五个项目。项目一介绍整个激光产业链基本情况，便于读者快速了解激光行业，项目二对激光器与激光设备的可能危害进行梳理统计。项目三项目四依据激光安全标准GB7247和GB/T18490对激光产品以及激光加工设备的安全性要求，详细介绍激光产品和激光设备在生产和使用过程中可能产生的危害以及应对各类危

"本书主要介绍电火花成型加工与电火花线切割加工原理，通过加工实例学习电火花成型机床和电火花线切割机床的操作、线切割编程、电机设计。本书的特点是将操作技能和理论知识有机结合，以实用、够用为宗旨，采用大量实例，因文并茂，形象直观，语言通俗易懂。力求使读者阅读后能很快地应用到实际工作当中，以最少的时间学到最实用的电加工技术。

本书针对机械工程专业研究生开设的微细加工技术课程的需要，系统总结了近20年来传统机械加工精密及超精密发展，在此基础上形成了较为系统和完整的微细加工技术。本书从新时期智能制造对微纳加工技术提出的新要求出发，简明扼要地介绍了微纳加工特点，进而对每种可实现微纳加工的技术的基本原理、典型加工零件和应用领域进行讲述，使研究生对微