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MEMS光纤声压传感器技术 
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9 7 6 8 9 7 3 0 2 3 7 0 3 读者对象:从事光纤声压传感器相关技术人员以及高等院校相关专业的教师、高年级学生及研究生。
本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景；其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理，分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析；然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装；最后对传感器的性能进行详细的测试。
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