精“芯”打造

定　　价：55 元

丛书名：“芯”路丛书

• 作者：杨晓峰, 殳峰编著
• 出版时间：2022/1/1
• ISBN：9787542782755
• 出 版 社：上海科学普及出版社

• 中图法分类：TN305-49 
• 页码：211
• 版次：1
• 开本：24cm

内容简介

本书以集成电路的发展历程为主线, 结合发生的本书主要介绍集成电路制造的各种设备, 以青少年熟悉的“武林高手”的形式介绍主要集成电路制造设备, 如被称为集成电路制造的“四大金刚”离子注入机、光刻机、刻蚀设备和薄膜沉积设备。从这些设备在集成电路制造中的各自作用入手, 图文并茂地围绕“精”这个字, 体现集成电路制造设备的技术先进性、复杂度和极具挑战性的特点, 一方面以青少年喜闻乐见的方式普及核心设备的基础知识, 另一方面引发他们未来从事集成电路制造设备研发的兴趣。