匠“芯”独运

定　　价：60 元

丛书名：“芯”路丛书

• 作者：俞少峰 ... [等] 编著
• 出版时间：2022/1/1
• ISBN：9787542782748
• 出 版 社：上海科学普及出版社

• 中图法分类：TN405-49 
• 页码：211
• 版次：1
• 开本：24cm

内容简介

本书稿主要介绍集成电路的制造。集成电路制造是半导体产业链中关键的一环, 承上继下, 起着极为重要的作用, 同时也面临各种挑战。本册对集成电路制造产业链各个环节的工作内容做了简明扼要的介绍, 由复旦大学微电子学院的几位教授共同编著而成, 包括了芯片介绍、芯片制造工艺整合制程、光刻工艺技术、材料刻蚀技术、薄膜制备技术、化学机械抛光技术、掺杂工艺技术和封装工艺技术。一方面以青少年喜闻乐见的类比方式普及集成电路制造的基础知识, 另一方面引发他们未来从事集成电路制造设备研发的兴趣。