本书围绕热工装备的核心系统进行介绍。第一章先简述了炉窑种类，再阐述炉体电热合金的种类、计算与质量检测，以及耐火材料相关的知识。第二章对热工装备中需要使用的传感器原理及技术进行介绍。第三章为温度控制技术及配套控制模块的相关介绍。第四章的内容为加热控制相关的固态继电器和功率调节器的原理和技术。第五章为热工设备中所使用的组态软件及开发。第六章包括热工装备的可编程控制器介绍及基于扩散炉的下位机控制技术。第七章内容为热工装备的智能控制方案及补充，如加热监视、过温保护等。
黄心沿，高级工程师、兼职硕士生导师，IEEE会员，SPIE会员。主要从事半导体热工装备电气自控、先进PID控制、复杂工业过程优化决策、薄膜制备工艺及设备、红外工程与传感技术、电力电子变换器相关的研究。近年来，负责设备电控部分的国家一带一路“土耳其kaylon安卡拉光伏园”项目、湖南省十大技术攻关“8英寸集成电路成套装备”项目均已顺利验收。所研制的分段调控式无变压器功率系统成功实现工程化，应用此技术的管式PECVD设备连续三年保持全球市占率第一。
第1章 炉窑基本理论
1.1 炉窑种类
1.1.1 电阻炉
1.1.2 感应炉
1.1.3 热压烧结炉
1.1.4 微波气氛压力炉
1.1.5 等离子体炉
1.1.6 电弧炉
1.2 炉体设计
1.2.1 电阻炉的优点
1.2.2 设计制作
1.2.3 关键因素
1.3 电热合金
1.3.1 电热合金简介
1.3.2 电热合金的主要特性
1.3.3 电热合金的制造
1.4 金相分析
1.4.1 仪器原理
1.4.2 试样制备
1.4.3 检测实例
1.5 耐火材料
1.5.1 材料的一般性质
1.5.2 材料的性能要求
1.5.3 常用耐火材料
1.6 恒温区测试
1.6.1 测试装置
1.6.2 前期工作
1.6.3 长度与精度
第2章 探测器件与技术
2.1 红外线与光辐射
2.1.1 红外线的由来
2.1.2 光辐射
2.2 红外成像和装置
2.2.1 红外成像系统
2.2.2 焦距与孔径
2.2.3 视场角与扫描机构
2.2.4 红外透镜的设计
2.3 红外成像技术
2.3.1 大气窗口
2.3.2 调制传递函数
2.3.3 分辨率
2.3.4 温度变量
2.3.5 技术优势
2.4 黑体与发射率
2.4.1 热力学定律
2.4.2 发射率
2.5 黑体炉
2.5.1 空腔及结构设计
2.5.2 效应与性能
2.5.3 低温恒温器技术
2.5.4 非制冷红外技术
2.5.5 红外测温技术
2.6 热电偶
2.6.1 技术原理
2.6.2 材料选择
2.6.3 结构设计
第3章 调节技术及应用
3.1 调节控制规律
3.1.1 概述
3.1.2 调节原理
3.1.3 整定方法
3.1.4 其他环节
3.2 串级控制系统
3.2.1 结构和工作原理
3.2.2 特点分析
3.2.3 系统设计
3.2.4 系统整定
3.3 智能算法
3.3.1 智能控制
3.3.2 退火算法
3.3.3 结合预测
3.4 部件选择
3.4.1 输入功能
3.4.2 控制运算功能
3.4.3 调节功能
3.4.4 控制输出功能
3.4.5 异常检测功能
3.5 实际应用
3.5.1 基础情况
3.5.2 影响因素
3.5.3 调试验证
第4章 功率电子线路
4.1 厚膜集成电路
4.1.1 概述
4.1.2 厚膜导体
4.1.3 基础材料
4.2 调功装置
4.2.1 触发板
4.2.2 晶闸管
4.2.3 阻容吸收电路
4.3 固态继电器
4.3.1 部件结构
4.3.2 种类介绍
4.3.3 工作原理
第5章 可编程控制器
5.1 PLC介绍
5.1.1 PLC由来
5.1.2 PLC定义
5.1.3 PLC发展
5.1.4 PLC特点
5.1.5 PLC分类
5.1.6 PLC结构
5.1.7 PLC工作原理
5.2 炉管控制
5.2.1 设备情况
5.2.2 PLC的选择
5.2.3 数据结构
5.2.4 主程序设计
5.3 通信设置
5.3.1 通信选择
5.3.2 功能块编写
5.3.3 部件通信
5.3.4 测试须知
5.4 上下料系统
5.4.1 运动控制轴设置
5.4.2 机械手控制
5.4.3 机械手辅助
第6章 信息系统开发
6.1 组态软件
6.1.1 组态的产生
6.1.2 国内发展史
6.1.3 功能分析
6.1.4 发展趋势
6.1.5 系统构成
6.1.6 产品介绍
6.1.7 产品特点
6.2 网络标准与协议
6.2.1 OSI协议
6.2.2 标准规范
6.2.3 网络协议
6.2.4 网络交换
6.3 系统与设备
6.3.1 有线系统
6.3.2 无线系统
6.3.3 远动终端设备
6.4 现场总线技术
6.4.1 发展与定义
6.4.2 技术优点
6.4.3 总线分类
6.5 软件设计
6.5.1 基本功能
6.5.2 数据库
6.5.3 软件需求规格说明书
6.5.4 系统开发
6.6 测试与管理
6.6.1 测试方法
6.6.2 测试类型
6.6.3 测试管理
第7章 典型方案
7.1 加热监视
7.1.1 硬件结构
7.1.2 信息系统
7.1.3 产品测试
7.1.4 验证跟踪
7.2 过温保护
7.2.1 保护装置
7.2.2 控制回路
7.3 辅助加热
7.3.1 开发背景
7.3.2 电控设计
7.3.3 结构特性
参考文献
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