紫外固体激光微细加工技术

定　　价：98 元

• 作者：齐立涛著
• 出版时间：2020/12/1
• ISBN：9787560392417
• 出 版 社：哈尔滨工业大学出版社

• 中图法分类：TG665 
• 页码：202页
• 版次：1
• 开本：21cm

内容简介

本书介绍了紫外固体激光微细加工技术的理论、方法及应用。内容包括了紫外固体激光器、紫光激光微细加工系统及检测方法、紫外激光微细加工技术的应用、激光微细加工的波长优化、紫外固体激光微细加工单晶硅和碳化硅、激光加工安全防护及标准等。