先进集成工艺与技术

定　　价：198 元

• 作者：悟弥今编著
• 出版时间：2025/3/1
• ISBN：9787122472359
• 出 版 社：化学工业出版社

• 中图法分类：TN43 
• 页码：387页
• 版次：1
• 开本：24cm

内容简介

本套图书以三册的形式呈现，分别为《半导体物理与器件》《半导体工艺原理》《先进集成工艺与技术》，从底层开始，全面系统地介绍芯片的原理与制造。本册为《先进集成工艺与技术》，主要内容包括：集成电路制造工艺概述、CMOS前段工艺、CMOS后段工艺、CMOS先进工艺制程技术、SOI工艺、多栅结构与FinFET工艺等。