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薄膜的设计、制备及应用
本书综合了国内外薄膜光学和薄膜技术的研究内容、体系,最新的薄膜技术与理论发展成就,及时将新技术融入本教材,针对相关专业特点,构建了全面且富有特色的内容体系。在论述过程中注重基本概念的阐述,叙述深入浅出,注意原理与技术相联系,理论与实践相结合。全书共有8章。第1-4章,主要介绍薄膜光学的基本理论和特性设计与计算基础,并着重介绍减反射膜、高反射膜、分束镜和滤光片等几种实用光学器件的设计理论;第5章对常见的薄膜制备方法的基本原理与方式进行详细介绍,对膜层厚度分布、膜厚监控和测试方法进行介绍;第6章对薄膜生长过程、生长模式、生长机理及薄膜的结构和缺陷等问题进行详细讨论;第7章探讨薄膜的表面和界面问题;第8章对薄膜的光学常数、光学性能、薄膜成分、薄膜结构及薄膜附着力等特性测试方法进行阐述;第9章介绍几种当前研究热点的薄膜材料体系。
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