电子薄膜技术与前沿应用

定　　价：59 元

• 作者：于贺主编
• 出版时间：2025/6/1
• ISBN：9787577015675
• 出 版 社：电子科技大学出版社

• 中图法分类：TN04 
• 页码：90页
• 开本：24cm

内容简介

全书涵盖了从真空技术、蒸发镀膜法、溅射沉积法等传统薄膜制备技术，到电子薄膜生长理论、常见表征方法、新型薄膜材料的开发与应用等多个方面。在第十章中，重点讨论了电子薄膜技术在微电子、集成电路、能源电子、超导以及柔性电子等领域中的最新应用与发展。