芯片制造

定　　价：79 元

• 作者：陈译, 陈铖颖, 张宏怡编著
• 出版时间：2025/12/1
• ISBN：9787111798132
• 出 版 社：机械工业出版社

• 中图法分类：TN430.5@v5 
• 页码：184页
• 版次：1
• 开本：24cm

内容简介

本书阐述：真空技术是支撑各行业的基础技术之一，其应用范围非常广泛，从食品工业到航天工业均受益于此，半导体产业也是如此。真空技术是实用学科，需在实践中掌握。尽管其理论体系复杂，本书仍力求在保留理论框架的同时简化表述，并尽量避免公式堆砌，以逻辑化、体系化的方式解读半导体真空技术。虽因篇幅限制有所取舍，但希望能助力更多工程师学以致用。本书旨在搭建一座学习的桥梁，通过“理论-案例-实践”的完整链条降低学习门槛，并填补半导体专用真空技术领域相关图书的空白。