本书较为系统、全面地介绍了与薄膜制备技术相关的各种基础知识，涉及了薄膜制备系统、典型的物理制膜与化学制膜方法、薄膜加工方法，以及常用的薄膜性能表征技术，同时紧密结合当前薄膜领域最先进的技术、方法和装置。
原外版书作者长期在薄膜科学与技术领域从事研究、开发和教育工作，有丰富的工作经验与广博的专业知识。本书自初版以来，已有三十余年，迄今已4次再版，反映了本书在这一领域具有较为深远的影响。
本书的内容丰富，由浅入深，对于材料科学、微电子专业学生而言是一本良好的基础教材；对于在这一领域学习、工作的人员而言，具有很好的参考价值。
第1章 薄膜技术
1.1 生物计算(biocomputing)和薄膜技术
1.2 医用微型机械
1.3 人工脑的实现（μElectronics）
1.4 大型显示的实现
1.5 原子操控
1.6 薄膜技术概略
参考文献
第2章 真空的基础
2.1 真空的定义
2.2 真空的单位
2.3 气体的性质
2.3.1 平均速率 Va
2.3.2 分子直径 δ
2.3.3 平均自由程 L 第1章 薄膜技术
1.1 生物计算(biocomputing)和薄膜技术
1.2 医用微型机械
1.3 人工脑的实现（μElectronics）
1.4 大型显示的实现
1.5 原子操控
1.6 薄膜技术概略
参考文献
第2章 真空的基础
2.1 真空的定义
2.2 真空的单位
2.3 气体的性质
2.3.1 平均速率 Va
2.3.2 分子直径 δ
2.3.3 平均自由程 L
2.3.4 碰撞频率 Z
2.4 气体的流动和流导
2.4.1 孔的流导
2.4.2 长管的流导 （L/a≥100）
2.4.3 短管的流导
2.4.4 流导的合成
2.5 蒸发速率
参考文献
第3章 真空泵和真空测量
3.1 真空泵
3.1.1 油封式旋片机械泵
3.1.2 油扩散泵
3.1.3 吸附泵
3.1.4 溅射离子泵
3.1.5 升华泵
3.1.6 冷凝泵
3.1.7 涡轮泵（分子泵）和复合涡轮泵
3.1.8 干式机械泵
3.2 真空测量仪器——全压计
3.2.1 热导型真空计
3.2.2 电离真空计——电离规
3.2.3 磁控管真空计
3.2.4 盖斯勒（Geissler）规管
3.2.5 隔膜真空计
3.2.6 石英晶振真空计
3.2.7 组合式真空规
3.2.8 真空计的安装方法
3.3 真空测量仪器——分压计
3.3.1 磁偏转型质谱仪
3.3.2 四极质谱仪
3.3.3 有机物质质量分析IAMS法
参考文献
第4章 真空系统
4.1 抽气的原理
4.2 材料的放气
4.3 抽气时间的推算
4.4 用于制备薄膜的真空系统
4.4.1 残留气体
4.4.2 用于制备薄膜的真空系统
4.5 真空检漏
4.5.1 检漏方法
4.5.2 检漏应用实例
参考文献
第5章 薄膜基础
第6章 薄膜的制备方法
第7章 基板
第8章 蒸镀法
第9章 溅射
第10章 气相沉积CVD和热氧化氮化
第11章 刻蚀
第12章 精密电镀
第13章 平坦化技术
参考文献
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